ONO SOKKI Co.,LTD

販売終了LV-9300 が後継機となります

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 レーザ測長器 LV-8600

センサと干渉計を一体化
- 高速で移動する物体の精密位置測定を可能とするレーザ測長器

製品カタログ (PDF)
 

製品写真(LV-8600 レーザ測長器)

LV- 8600 はサブミクロン精度が要求される半導体製造装置や精密工作機械などの組み込み用センサとして設計されたレーザ測長器です。レーザ光の波長を基準とした干渉法により、高い分解能と精度を実現しています。それでいて取り付けは簡単、しかも価格はガラススケールなみに抑えました。

 

特長

  • 最大 10 m まで測定可能

  • 最大 5 m/s の追従速度を実現。

  • 高速位置決め制御にも対応 

  • 全速度領域で 0.08 μm の分解能

  • 干渉計一体型光学ヘッドにより、光軸合わせが簡単

  • 従来機種の約 1 /2 の低価格(当社比)

 

構成

製品写真(プリンタ機構部計測システム構成 LV-8600+ノートパソコン) イラスト(システム構成)

 

概略仕様

追従速度

0 〜 ±5 m/s

分解能

0.07910 μm (λ/8、電気的4逓倍時) λ はセンサヘッドに個別に記載

光軸ズレ許容値

ビーム中心より ±0.5 o以内(LV-0812 使用時)

精度 *1

±0.1 μm ± 0.2 ppm  × 距離 

測定範囲

0 〜 10 m(センサヘッド前面からの絶対距離ただし LV-0812 使用時

光源

He-Ne レーザ出射光パワー 1 mW 以下(クラス 2) 波長 λ= 632.8 nm

出力信号

AB 相矩形波信号 位相差 90°± 3°以内  *2 (LVDS タイプ差動ラインドライバ出力)

AB 相正弦波信号 (出力インピーダンス 50 Ω、出力レベル ±0.5 V以上 )

使用電源

AC 85 〜 132 V、170 〜 264 V 47 〜 63 Hz消費電力  70 VA

使用温度

+5 〜 +35℃ (センサヘッド、本体)

湿度範囲

5 〜 90 %(結露しないこと)

外形寸法

本体: 160 (W) × 88 (H) × 220 (D) o

センサヘッド: 85 (W) × 81 (H) × 218 (D) o

質量

本体: 約 1.7 kg

センサヘッド: 約 1.8 kg

価格 (税込

*1:温度 +20℃/気圧 1013.25 hpa /湿度 56.8 % の条件において
*2:LV-8600 出力信号波形

 

価格とオプション

型 式 品 名 用 途 価 格
LV-0812 ビームエクスパンダ 6 倍 レーザ光の直径を φ 6 mmにします。絶対距離 0 〜 10 m 全域での測定を可能にします。
(税込
LV-0855 LV-8600 用カウンタカード信号ケーブル LV-8600 からの A・B 相矩形波信号をカウンタカード(コネクタ Box )へ入力するためのケーブルです。 (LV-0852 カウンタカードに1本含まれています) 別途お見積もり
LV-0801 コーナーキューブ φ 4 小型・軽量の測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させるために使用します。 (質量 0.2 g 以下)
(税込
LV-0802 コーナーキューブ φ 7 測定対象に取付け、レーザ光をセンサヘッドへ反射させるために使用します。 (質量 2 g 以下)
(税込
NP-0010 接着用ワックス 測定対象にコーナーキューブを接着するために使用します。
(税込
LV-0831 動特性解析ソフト 測定対象の動特性を変位・速度・加速度を用いて解析します。同時に2枚のカウンタカードに対応できます。 別途お見積もり
LV-0833 時系列データ処理ソフト LV-0831(動特性解析ソフト)にて測定・保存したデータを使用し、測定データの重ね書き・FFT 解析・CH 間演算等のデータ処理を行う事ができます。
(税込
LV-0852 カウンタカード PCMCIA 用 LV-9110A の Up/Down 信号または LV-8600 の A・B 相矩形波信号を カウントします。  動特性解析ソフトを組み合せて使用します。1 枚で 2 台の測長器を接続できます。 LV-8600 用カウンタカード信号ケーブル LV-0855 が1本付属します。
(税込
LV-0853 高分解能カウンタカードPCMCIA 用 LV-9110A の Up/Down 信号・phase 信号により、 移動変位量を 0.01 μm の高分解能でカウントします。動特性解析ソフトと組み合せて使用します。1 枚で 2 台の測長器を接続できます。LV-9110A 用カウンタカード信号ケーブル LV-0854 が1本付属します。  別途お見積もり
LV-0822 センサヘッドアライメント治具 センサヘッドの光軸調整を容易にするための治具です。
(税込
LV-0016 Z 軸微動ステージ センサの精密な上下位置合わせが可能です。
(税込
LV-0017 大型三脚 定盤が無い場所でのセンサヘッド設置に使用します。
(税込

Revised: 2008/09/16


● 記載事項は変更になる場合がございます。
● 価格情報は皆様の便宜のために参考用として記載された日本国内価格です。

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