ONO SOKKI Co.,LTD

販売終了 (CL-5610 が後継機となります)

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 非接触厚さ計 CL-6200
非接触厚さ計関連 製品群概要
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製品カタログ (PDF)
 

製品写真(CL-6200 非接触厚さ計)

 

CL-6200 は測定対象として、アルミディスクなどの導体、シリコンウェハなどの半導体、プラスチックフィルムなどの絶縁体を測定できます。さらに、補助信号や演算式を追加することが可能です。(特注対応)
もちろん、2 チャンネル高精度変位計としても使用でき、豊富な演算式を使って多様なアプリケーションが可能です。また、BCD パラレル出力、RS - 232C 等豊富な出力機能を標準装備。さらに、インライン用のパラレルT/O インタフェースなども追加組み込み可能で、シーケンサ等と組合せも容易です。(特注対応)

 

特長

  • 測定対象に影響を与えない、非接触による測定

  • ディジタル表示のため、読み取りが簡単

  • 単純なセンサの構造が、優れた耐久性を実現

  • 独自の演算方式により高精度・高安定性・高分解能

  • インラインによる厚さ測定が可能

  • 導体・半導体から絶縁体まで測定対象は広範囲

  • 演算機能内蔵のため、各種演算統計処理が可能

  • ディジタル出力、プリンタ用出力を備えていますので、記録等が可能

  • 豊富なインタフェースにより、計測制御のシステムアップが可能

  • 測定方法/演算式の追加・登録が可能

 

測定サンプル例 

導体・半導体

絶縁体

シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。

ガラス、ポリエチレン、ポリプロピレンなどプラスチック類。

※上記の測定サンプルの他、中間的な材質、複合した材質の測定については、お問い合わせ下さい。

 

測定方法

 

導体・半導体を測定する場合

イラスト(導体・半導体の場合の厚さ測定・演算方法)

 

2 つのセンサをあらかじめ校正された間隔(Gs )に平行に設定し、この間隔をCL- 2400 、CL- 6200 に設定します。センサA 、B 間に被測定物を挿入して、各々のセンサ〜被測定物のギャップ(Ga 、Gb )を測定して、厚さ(t )をもとめます。

 

絶縁体を測定する場合

イラスト(絶縁体の場合の厚さ測定・演算方法)

 

センサと導体(基準床)を平行に、あるギャップ(Gs )をもって設定し、その間に被測定物を挿入すると、厚さの変化により、センサの電圧出力が変化するため、この変化分と比誘電率εから厚さ(t )をもとめます。

 

測定例

<こちらをクリックください>

 

概略仕様

測定項目

  • 測定対象物の厚さ

  • センサAと測定対象及び対向導体とのギャップ(A)

  • センサBと測定対象及び対向導体とのギャップ(B)

  • AとBとの差

  • ユーザ定義の演算結果

表示モード

  • 厚さまたはギャップを絶対値表示

  • 基準値に対する偏光表示

  • 測定値の最大値、最小値

分解能

CL-6200型に、予めセットされたセンサにより自動的に決定。センサ7種までセット可能。

VE-121、VE-222、VE-521、VE-525A、VE-133→0.1μm単位
VE-231、VE-531 →1μm単位

パラメータ設定

測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、内部メモリーに設定します。これらの設定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。

サンプリング時間

20ms、80ms選択

アベレージング

アナログ出力/BCD出力/CMP出力時

平均回数2〜32回の移動平均
LCDの測定値表示は0.5秒の単純区間平均。

リアルタイムデータ処理

測定データの最大値、最小値をリアルタイムで表示

データ・メモリー

測定データを内部メモリーより記憶。また、記憶されたデータを使って各種演算統計処理をします。

記憶容量:2048点
演算項目:最大、最小、最大−最小、平均、標準備差

コンパレー夕機能

独立した2チャンネルのコンパレータ機能を内蔵。

出力:ノーマルオープン無電圧接点

表示

320×240ドットリックス液晶表示
有効表示範囲121(W)×91(H)mmバックライト付き

アナログ出カ

任意に対象を選択可能な2つのアナログ出力

電力出力:一5V〜+5V

プリンタ出力

計測データをプリント出カ(セントロニクス準拠)

外部コントロール

外部の接点信号等により、制御可能

制御項目:● START/STOP ● PAUSE ●STORE  ● PRINT

入力形式:無電圧接点入力

インタフエース/入力信号

  • BCD :選択された項目の5桁BCDデータ出力

  • RS-232C:表示内容の読み出し/パネルコンディション設定

  • SYNC :CL-6200を並列運転する場合のサンプリングのクロックの入出力

  • AUX IN(オプション):補助アナログ入力 −5V〜+5V(使用目的によりソフトウェアの追加が必要です。)

  • GPIB(オプション): 表示内容の読み出し、パネルコンディションの設定が可能。規格IEEE−488準拠

電源

AC 100V 〜 240V 50/60 Hz 消費電力 60 VA 以下

使用環境(本体のみ)

温度:+18 ℃〜+28 ℃(精度保証範囲)、0 ℃〜+40 ℃(使用範囲)

湿度:20〜80 %R.H.(但し結露しないこと)

外形寸法

315(W)×150(H)×345(D)mm

質量

約 6 kg

価格

(税込

 

Revised: 2007/12/17

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