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入力電荷範囲
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0 〜±5000 pC |
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最大許容入力
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3 × 104 pC |
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入力インピーダンス
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1013 Ω 以上 |
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レンジキャパシタ Cg
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レンジ 1 |
10 pF ± 3% |
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2 |
20 pF ± 3% |
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5 |
50 pF ± 3% |
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10 |
100 pF ± 1% |
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20 |
200 pF ± 1% |
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50 |
500 pF ± 1% |
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100 |
1000 pF ± 1% |
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200 |
2000 pF ± 1% |
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500 |
5000 pF ± 1% |
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1 k |
10000 pF ± 1% |
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2 k |
20000 pF ± 1% |
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5 k |
50000 pF ± 1% |
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時定数用抵抗 Rg
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LONG |
1013 Ω 以上 |
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MEDIUM |
1011 Ω |
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SHORT |
109 Ω |
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時定数 Zg=Rg×Cg
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LONG |
100 s 〜 1000 s |
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MEDIUM |
1 s 〜 1000 s |
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SHORT |
0.01 s 〜 10 s |
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応答周波数
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near DC 〜 100 kHz (−3 dB) |
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直線性
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±1% |
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出 力
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電圧:±10 V 5 mA 以内
インピーダンス 50Ω ± 5% |
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ノイズ
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約 1 mVrms (MODE SW を CHARGE にして,RANGE R=100,SENSITIVITY S=10.0 に設定した時) |
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ドリフト
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±0.03 pC/s 以内
(例えば,MODE SW を CHARGE にして,RANGE R=10,SENSITIVITY S=10.0、時定数:LONG に設定した時のドリフトは,100 秒で ±30 mV 以内) |
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ゼロオフセット調整範囲
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±500 mV |
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OVERランプ
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出力電圧が 10 V を超えるとフラッシングにより指示(押しボタン SW を RST にすることにより復帰) |
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CAL入力
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±10 V max (後コネクタから入力) 校正用キャパシタンス 1000 pF ± 0.25%、入力感度 1 pC/mV |
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センサアンプ入力
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供給電源:0.56 mA ± 20% |
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入出力コネクタ
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機 能 |
前パネル |
後コネクタ |
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CHARGE IN |
BNC |
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SIG OUT |
BNC |
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CAL IN |
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電 源 |
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使用温度範囲
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0 〜 40℃ |
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外形寸法
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49.6 (W) × 143 (H) × 247 (D) mm |
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質 量
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約 0.6 kg (PS-603 単体) |
| 価格 |
(税込) |