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高分解能タイプ GS-3813/3830

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製品写真 (GS-3813/3830 高分解能リニアゲージセンサ)

GS-3813B/3830B はサブミクロンリニアゲージセンサでありながら、耐久性に優れた軸受けと IP66G の防塵・防滴性能を持ち、自動機によるインライン計測に対応した高分解能リニアゲージセンサです。

ボールスプライン軸受けの採用と新光学系の開発で、高分解能と耐環境性能の両立が可能になりました。
矩形波出力(ラインドライバ出力)で検出信号が取り出せるので、PLC に直接接続できます。

左側:GS-3830B
右側:GS-3813B
GS-3813B/3830B リニアゲージセンサは DG-5100 ディジタルゲージカウンタと組み合わせて使用します
グリーン製品CEマーク
製品写真 (DG-5100 ディジタルゲージカウンタ)

DG-5100 ディジタルゲージカウンタ

DG-5100 は入力周波数 3 MHz の高速カウンタです。
オプションカードを組み込むことで、コンパレータ機能、アナログ出力機能、RS-232C通信機能等、必要な機能を低コストで実現できます。

詳細はこちら

特長

■ 従来品に比べてより精密な測定が可能
(分解能10倍 1 µm→0.1 µm)

■ 従来品に比べて3倍の軸受け寿命
(計測動作 500万回→1500万回)

■ 従来品に比べて強化された耐塵、耐水、防油性能
(保護構造 IP64→IP66G)

■ 従来品に比べて2倍の耐振動・衝撃性能
(耐振動 98 m/s2、耐衝撃 980 m/s2→耐振動 196 m/s2、耐衝撃 1960 m/s2

アプリケーション例

レーザなどの光学系に使用されるガラス部品の高精度寸法測定

レーザ機器用ガラス部品などは、研磨加工工程で接触式高精度リニアゲージで寸法検査をし、中間工程での精度を確保し、最終工程の光学検査工程へ送ります。

アプリケーション例 (レーザなどの光学系に使用されるガラス部品の高精度寸法測定)
1 µm の精度でシリコンウェーハの厚さ測定

高精度リニアゲージセンサを使用し、1 µm の精度でシリコンウェーハの厚さを測定します。4インチ以下の小さなウェーハでは ST-0230 ゲージスタンドを利用できます。

アプリケーション例 (0.5µm の精度でシリコンウェーハの厚さ測定)
シリコンウェハなどの反りがある素材の高精度厚さ測定

シリコンウェハのように反りがある板状材料の厚さを高精度に測定します。反りの影響を受けない様にするため、GS-3813B ゲージセンサの測定子が当たる部分を「凸レンズ」で受け、その他4点をピンで支える構造を持った特殊スタンドを使用します。
GS-3813B ゲージセンサの測定子中心と凸レンズ中心を合わせることで、反りの影響をほとんど受けずに厚さを測定することが出来ます。測定データは RS-232C インタフェース経由でパソコンに取り込むことで、統計処理等の2次処理が行なえます。

アプリケーション例 (シリコンウェハなどの反りがある素材の高精度厚さ測定)

概略仕様

  GS-3813B GS-3830B
測定範囲 13 mm 30 mm
適応ゲージカウンタ DG-5100
分解能 0.1 µm
指示精度(20 ℃において) 1 µm
最大応答速度 ※1 300 mm/s (1.2 m/s)
測定力(下向き) ※2 2.3 N 以下 2.7 N 以下
測定力変更範囲(オプション) ※2 0.9 ~ 2.3 N 0.9 ~ 2.3 N
測定力変更範囲(オプション) ※3 2.7 ~ 3.0 N (不可)
摺動回数(当社条件による) 1500万回
保護等級(コネクタ部分を除く) IP66G
ステム径 φ15 mm+0 -0.009
供給電源 DC 4.5 ~ 5.5 V
消費電流 (DC 5V供給時) 150 mA 以下
信号出力 (DC 5V供給時) 90 °位相差差動矩形波 RS422A適合 ラインドライバ出力(26C31相当品)
耐振動 (非通電時) ※4 196 m/s2 3軸各方向(各75分)10 Hzから150 Hzスイープ  10サイクル
耐衝撃 (非通電時) ※4 1960 m/s2 3軸各方向各向き ±X,Y,Z各3回 正弦半波 作用時間6 ms
使用温度範囲 0 ~ 40 ℃
保存温度範囲  -10 ~ 55 ℃
ケーブル長 約 5 m
質量(ケーブル、コネクタを含む) 約 350 g 約 420 g
付属品 取扱説明書、スパナ
価格
(税込

(税込
オプション
ケーブル・アクセサリ一覧
・AA-969 フィンガーリフト
・ST-0230、ST-044B (GS-3830 のみ使用可) ゲージスタンド
・AA-4104 (13 mm)/4105 (30 mm) 取替用防塵ゴム
・AA-844 (30 mm)/845 (50 mm) 延長スピンドル
・各種 測定子
・AA-3310 取付金具
・AA-8901 (5 m)/AA-8902 (10 m)/AA-8903 (20 m)/AA-8904 (30 m) 延長ケーブル
※1 当社ゲージカウンタ使用の時、かっこ内はDG-5100使用時の電気的応答速度です。
※2 横向き使用(10℃以下)、上向き使用でスピンドルが完全に戻らない場合があります。
※3 上向き使用を可能とする改造時の変更範囲です。(数値は下向きでの測定力です)
※4 測定中の耐振動・耐衝撃は表記値を保証しません。
※5 信号ケーブルの途中切断、改造の場合CEマーキング非適合になります。
Revised: 2014/11/12
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