金属やカーボン等の電気が流れる導体と、シリコーンウェーハなどの半導体の【変位】、および2つのセンサを使うことで【厚み】を計測できます。
また、薄いフィルムやガラスウェーハなどの、絶縁体の【厚み】も計測できます。