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静電容量式厚さ計・変位計では導体・半導体の厚みをどのように測るのでしょうか? |
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VE シリーズ
ギャップディテクタはギャップを計測するセンサですが、2つの VE
センサを使うことで厚みを計算することが出来ます。
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下図のように、2つの VE センサを測定対象物を挟み込むように設置します。 2つの
VE センサはギャップ値(Ga、Gb)を計測しますが、センサ間の距離(GS)が分かっていれば、測定対象物の厚み(t)を計算できます。

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なお、VE
センサ間の距離は、基準片を入れてギャップ値を計測することで求められます。詳しくは、「
静電容量式厚さ計・変位計で導体・半導体の厚みを測る際、何故基準片での校正が必要なのですか?」を参照ください。
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